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半导体设备上用的什么力传感器？

2025年03月10日 07:10:27 人气: 127 来源: 深圳市科瑞传感仪器有限公司

半导体生产设备上用到很多的称重传感器及压力传感器，这些年，与国内不少的半导体设备厂家进行合作过，具体哪些设备用到什么传感器，分别阐述以下：

1、在半导体露光装置上的使用：

该设备上通常是用压力传感器，对性能要求很高，长期稳定性要好，精度要高，主要是通常监测气压，连接晶圆浮起进行振动对策，此时的气压用精密压力传感器控制，且产生的废气液体的管理也是由称重传感器来计量。

选配的气压传感器，采用扩散硅敏感元件，进口材料。

2、在晶圆洗净装置的应用：

该设备上安装的是梁式和膜盒式称重测力传感器，对性能要求，精度高，稳定性好，当晶圆在清洗中，清洗刷在工作的时候，会施加适当力，对其力的控制，就是由传感器来抓取反馈完成的。

3、在半导体树脂成型设备的应用：

半导体元器件在封装时，环氧树脂经过塑封机把晶圆及引线框架包裹，成为单个完整的电子元器件，在设备上监测树脂的供给量，需测量模具的锁模力射出力，常选拉杆应变计的锁模力传感器套件。

 

还有半导体设备种类很多，实际应用功能及作用都不同，所以其它的应用，欢迎依实际需求咨询。

 

关键词： 力传感器
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