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智造APP智能制造APP，让生意更容易！| 支持电子零部件产品评价、品质管理,介绍用于电子装置实装、半导体基板制造工艺中的检测仪器。 | |
| ·表面构造解析装置 ·接点不良/断线、烧坏 ·腐蚀、剥离/接触不良、异物 | |
| 电子探针 EPMA-1600/1610型 分析扫描电子显微镜 SSX-550型 | |
| ·异物解析装置 ·表面污染/异物、污点 ·缺陷 ·膜厚管理 | |
| FTIR显微镜系统IRPrestige-21 | |
| ·有害物质测定装置 ·有害重金属、薄膜组成 ·不良解析、废材处理 | |
| 能量色散型微区X射线荧光光谱仪 µEDX系列 能量色散型X射线荧光光谱仪 EDX系列 | |
| ·特性测定装置/粒度测定装置 | |
| 差示扫描量热仪DSC-60系列 差热-热重同时分析仪DTG-60系列 对应超微粒子型激光粒度仪SALD-7101 | |
| ·洁净室环境监测 ·特定污染源、保持洁净度 ·微量有机物、微量杂质测定 | |
| 气相色谱质谱联用仪GCMS-QP2010 Plus 原子吸收分光光度计AA-6300C 总有机碳分析仪燃烧法在线型TOC-V CSH online | |
| ·膜厚、光学特性测试装置 ·膜厚/光学测定 | |
| 傅里叶变换红外光谱仪IRPrestige-21 紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700 | |
| ·无损X射线检查装置 ·高密度实装/可靠性 ·故障解析 | |
| X-ray检查装置(透视) X-ray检查装置(CT) | |
| ·物理特性测试装置 ·强度测试 ·耐久性测试 | |
| 小型台式电子试验机EZ Test/EZ Graph 微小电磁力疲劳试验机MMT系列 | |
| ·物理特性测试装置 ·表面硬度 ·粘性测定 ·天平 | |
| 超显微动态硬度计DUH-211/211S 毛细管式流变仪CFT-500D/100D 分析天平AUW-D系列 电子托盘天平UX/UW系列 | |
半 导 体 制 造 工 艺 | |
| 从前段工艺到后段工艺,岛津的半导体制造技术和检测技术支持不断创新发展的半导体工艺。特别是在新Low-K材料等面世的同时，对于测试技术的需求日益高涨。高、强电介体成膜用液体材料气化装置等新一代的制造装置系列，以及被广泛采用的涡轮分子泵等装置支撑着半导体工业。 | |
| ·元件分离工艺(前段工艺) | |
| RMS测定、保护膜截面观察→SPM 晶片中有机物污染分析→GCMS QP2010SE 硬度测定→显微硬度计 膜厚的热变化→DTG 保护膜的分子量分析和杂质测定→HPLC ESSENTIA LC 51C 结晶面的杂质测定、异物检查→显微FTIR 晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚测定、膜中的氢浓度、膜的组成、结晶内的O、C的测定、清洗液双氧水，氨浓度管理→FTIR 蚀刻液的杂质测定、清洗液的测定→UV、AA-6300C 污染测定→XRF、XPS 回收水、再生水测定→TOC 微量杂质测定→GC-2014C 膜厚测定→UV 2450 | |
| ·晶体管形成工艺(前段工艺) | |
| 蚀刻液的杂质测定→AA 6300C 极薄膜的膜厚测定、组成分析→XRF、XPS 保护膜的官能团测定→FTIR 排水管理→TOC HSG的粒径测定→SPM | |
| ·配线形成工艺(前段工艺) | |
| BPSG组成分析 SiN中的H分布测定、深度方向组成分析→XRF、EDX、XPS Al、Cu配线的组成分析→XRF、EDX、XPS | |
| ·后段工艺 | |
| 硬度测定→显微硬度计 焊接点的表面分析→XPS Al腐蚀解析→SSX 引线框架电镀液的管理→AA 6300C 焊接不良解析→SEM 拉引线、封装、焊接线的强度试验→材料试验机 缺陷检查→X射线透视、CT装置 模树脂的成形条件评价→流变仪 环氧树脂的热硬化测定→DSC 装置检查→检漏仪 | |
与 汽 车 相 关 的 测 试 装 置 | |
| 面向新一代汽车的开发和安全性，满足开发需求的评价、检查、试验装置,作为综合分析试验装置生产厂家，可为开发人们期待的新一代汽车FCV（燃料电池汽车）予以支持，提案各种装置群。此外,在可作为汽车燃料电池的固体高分子型燃料电池的开发、因投入基础设施最少而被注目的改质器的开发、与FCV的实用化相关的新材料的开发评价等方面也可以提供综合的帮助。 | |
| ·改性器测试装置 | |
| 高灵敏度无机气体分析装置GC-2014(PDD) | |
| ·无损检测装置 | |
| 微焦点X射线CT系统SMX-3000micro | |
| ·热分析装置 | |
| 差示扫描量热仪DSC-60系列 差热-热重同时分析仪DTG-60系列 | |
| ·燃料电池测试装置 | |
| 超显微动态硬度计DUH-211/211S | |
| ·材料强度测试装置 | |
| 电子、电装部件试验（MMT系列） 电液伺服疲劳试验机EHF-U系列 液压试验机UH-I系列 空气疲劳试验机ADT-A系列 | |
| ·燃料电池测试装置（表面观察、组成、构造、膜厚） | |
| 分析扫描电子显微镜 SSX-550型 多道X射线荧光光谱仪 MXF-2400型 ICP发射光谱仪 X射线衍射仪 XRD-6000型 氛围控制扫描探针显微镜 WET-SPM系列 能量色散型X射线荧光光谱仪 EDX系列 光电直读光谱仪PDA-7000系列 扫描型X射线荧光光谱仪 XRF-1800型 X-ray检查装置（CT） | |
| ·粉体物理性质测试装置 | |
| 激光粒度仪SALD-2201 | |
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